Eos300 12寸外延层膜厚测量设备
具有内置预对准器及机器手晶圆传输系统；
模块化设计的光学单元，采用成熟的优睿谱傅立叶红外技术；
风冷红外光源和激光器及防潮设计可降低维护成本以及延长设备正常运行时间；
完全符合SECS/GEM标准，SECS接口支持本地控制操作，主机通过HSMS/SECS-1协议进行的远程控制操作；
具有友好的用户界面的客户服务器架构允许快速数据收集和二维或三维成像。
已通过SEMI S2认证。
Eos300+ 12寸元素与外延层膜厚测量设备
配备优睿谱元素与外延膜厚分析系统；
可测量Si-H,Si-N和N-H等化学键含量;
可测量B/P/F元素浓度含量；
Eos300P 12寸碳氧含量与元素与外延层膜厚测量设备
配备液氮系统；
支持低温碳氧含量检测；
优势
利用FTIR技术实现元素与外延膜厚的非接触测量，同时具备高运行产能；
能够确定无图案或有图案的晶圆上的元素与外延厚度，并可测量生长了多层的外延层；
友好的用户界面，方便快捷的程序设置;
配备FFU可用于洁净室环境；
通过Semi S2认证具备良好的安全性。
特征
能够区分源晶圆盒和目标晶圆盒；
具有平台设计的双机器人手臂，可实现高稳定性和高产能；
光学系统采用ZnSe分束器和带有室温DTGS检测器;
能够根据客户的特殊要求为系统软件提供相应的定制。
