全自动操作，符合SEMI标准的FA及MES接口
适配12寸晶圆
搭载瀑布式阵列探头
干进干出，内部集成旋转干燥模组
A/B/C扫描，支持多重Gate设定，支持常规/差行/高质量模式
已通过SEMI S2/F47认证
可选配置：
高频探头；晶圆翻转功能；双notch键合晶圆识别预对准
晶圆边缘灰带宽度测量；缺陷自动分类；缺陷自动着色
缺陷统计自动去边；输出报告可定制化
